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多靶磁控濺射鍍膜系統(tǒng)

簡(jiǎn)要描述：1.MS450是一臺(tái)高真空磁控濺射鍍膜設(shè)備。
2.設(shè)備主要由真空室、濺射靶槍、濺射電源、加熱樣品臺(tái)、流量控制系統(tǒng)、真空獲得系統(tǒng)、真空測(cè)量系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、PLC+觸摸屏自動(dòng)控制系統(tǒng)等組成。
3.該設(shè)備主機(jī)與控制一體化設(shè)計(jì)，操控方便；結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小。

  • 所在城市：無錫市
  • 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
  • 更新日期：2025-11-05
  • 訪  問  量：2073

詳細(xì)介紹

品牌LEBO/雷博
　　1.MS450是一臺(tái)高真空磁控濺射鍍膜設(shè)備。
 
　　2.設(shè)備主要由真空室、濺射靶槍、濺射電源、加熱樣品臺(tái)、流量控制系統(tǒng)、真空獲得系統(tǒng)、真空測(cè)量系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、PLC+觸摸屏自動(dòng)控制系統(tǒng)等組成。
 
　　3.該設(shè)備主機(jī)與控制一體化設(shè)計(jì)，操控方便；結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小。
 
　　4.主要用途：
 
　　1. 開發(fā)納米級(jí)單層、多層及復(fù)合膜層等。
 
　　2. 制備金屬膜、合金膜、半導(dǎo)體膜、陶瓷膜及介質(zhì)膜等，例：銀、鋁、 銅、鎳、鉻、鎳鉻合金、氧化鈦、氮化鈦、氮化鉻、ITO......
 
　　3. 兩靶單獨(dú)濺射、依次濺射、共同濺射。
 
　　5.應(yīng)用領(lǐng)域：
 
　　1. 高校、科研院所的教學(xué)、科研實(shí)驗(yàn)及生產(chǎn)型企業(yè)前期探索性實(shí)驗(yàn)及開發(fā)新產(chǎn)品等。
 
　　2. 鈣鈦礦太陽能電池、OLED、OPV 太陽能電池等行業(yè)。
 
 

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